信息记录介质用玻璃基板的制造方法

摘要

玻璃基板的制造方法具有进行玻璃基板的研磨的工序、和在进行了玻璃基板的研磨后进行玻璃基板的清洗的工序。进行玻璃基板的清洗的工序包含如下工序：在槽内表面是由不锈钢或树脂构成的多个第1槽中，分别进行玻璃基板的清洗；以及，在槽内表面是由石英构成的第2槽中进行玻璃基板的清洗。在多个第1槽中分别进行玻璃基板的清洗的工序包含至少1次超声波清洗。在多个第1槽中分别进行玻璃基板的清洗的工序完成之后，进行在第2槽中清洗玻璃基板的工序。

主权项

一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，具有如下工序：进行玻璃基板的研磨；在进行了所述玻璃基板的研磨之后，进行所述玻璃基板的清洗，进行所述玻璃基板的清洗的工序包含如下工序：在槽内表面是由不锈钢或树脂构成的多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗；在槽内表面是由石英构成的第2槽中进行所述玻璃基板的清洗，在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序包含至少1次超声波清洗，在所述多个第1槽中分别进行所述玻璃基板的清洗的工序完成之后，进行在所述第2槽中清洗所述玻璃基板的工序。