| 发明名称 | 一种高灵敏度图像传感器像素结构及制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种高灵敏度图像传感器像素结构及制作方法，像素结构包括硅基底，所述硅基底中设有多个感光器件，相邻的感光器件之间设有浅槽隔离槽，所述多个感光器件的上方和下方分别设有正面平坦层和背面平坦层，所述正面平坦层的上面形成正面介质浅槽，所述背面平坦层的下面依次形成背面窄槽和背面宽槽，所述背面窄槽中设有多个背面微透镜，每个背面微透镜对应一个感光器件。能有效的提高入射光的吸收效率，改善图像传感器的灵敏度和图像性能。 | ||
| 申请公布号 | CN104157662A | 申请公布日期 | 2014.11.19 |
| 申请号 | CN201410406693.4 | 申请日期 | 2014.08.18 |
| 申请人 | 北京思比科微电子技术股份有限公司 | 发明人 | 陈多金;旷章曲;陈杰;刘志碧 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L21/77(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人 | 郑立明;赵镇勇 |
| 主权项 | 一种高灵敏度图像传感器像素结构，包括硅基底，所述硅基底中设有多个感光器件，相邻的感光器件之间设有浅槽隔离槽，所述多个感光器件的上方和下方分别设有正面平坦层和背面平坦层，其特征在于，所述正面平坦层的上面形成正面介质浅槽，所述背面平坦层的下面依次形成背面窄槽和背面宽槽，所述背面窄槽中设有多个背面微透镜，每个背面微透镜对应一个感光器件。 | ||
| 地址 | 100085 北京市海淀区上地五街7号昊海大厦二层201室 | ||