一种双橡胶圈差分密封的超高真空阀门

摘要

本实用新型属于阀门技术领域，具体为一种双橡胶圈差分密封的超高真空阀门。主要包括双面法兰、第一密封橡胶圈、第二密封橡胶圈、差分抽气法兰和密封盲板；第一密封橡胶圈和第二密封橡胶圈之间设计有一差分抽气孔，并与双面法兰侧面的差分抽气法兰贯通连接；密封盲板与双面法兰（1）活动连接，能盖合在双面法兰上。本实用新型通过设置于差分抽气法兰上的机械泵对差分抽气孔管道进行抽气，使得双层密封橡胶圈之间为粗真空状态，大大降低了泄漏气体含量的情况，从而有效提高了橡胶圈密封阀门的极限真空度。

主权项

一种双橡胶圈差分密封的超高真空阀门，其特征在于主要包括双面法兰（1）、第一密封橡胶圈（2）、第二密封橡胶圈（3）、差分抽气法兰（4）和密封盲板（5）；所述双面法兰（1）的一面上，围绕法兰中心开口设置有同心的第一密封卡槽（6）和第二密封卡槽（7），第一密封橡胶圈（2）和第二密封橡胶圈（3）分别设置在第一密封卡槽（6）和第二密封卡槽（7）中；所述差分抽气法兰（4）设置于双面法兰（1）的侧边，用于连接机抽气械泵；所述第一密封卡槽（6）和第二密封卡槽（7）之间设计有一差分抽气孔（8），并与差分抽气法兰（4）贯通连接；所述密封盲板（5）通过一个活动轴（9）与双面法兰（1）活动连接，能盖合在双面法兰（1）设有密封橡胶圈的一面上。