主权项 |
一种低能大流强材料辐照装置,其特征在于:包括送气系统、气压监测装置2、等离子体产生系统、样品台13、激光加热系统6、测温系统9、真空抽气系统5、水冷循环系统4和供电系统;所述的送气系统是由气源1和数字DIP控制系统3组成;所述的等离子体产生系统包括法拉第水冷屏14、高纯石英桶12、RF外置天线11、聚四氟保护壳10、栅极抑制磁铁15和离子引出系统;高纯石英桶12为圆形空筒置于水平向,桶内沿桶壁设置有法拉第水冷屏14;RF外置天线11环绕在高纯石英桶12的外壁,聚四氟保护壳10环绕在高纯石英桶12置于RF外置天线11外侧;栅极抑制磁铁15置于高纯石英桶12的左侧;高纯石英桶12的右侧连接离子引出系统;所述的栅极抑制磁铁15是由背栅极法兰、永久磁铁和法兰盖组成,背栅极法兰为圆盘形,径向沿圆周有十道凹槽,其中五道镶嵌永久磁铁,另外五道为冷却水道,永久磁铁和冷却水道沿径向由内到外间隔设置,背栅极法兰中心部设有进气孔和气压检测孔,法兰盖封盖在背栅极法兰上;冷却水道与所述的水冷循环系统4连接形成循环系统;所述送气系统的气源1与进气孔连接;所述的气压监测装置2与气压检测孔连接;所述的RF外置天线11为空心无氧铜管盘旋制作,与所述的水冷循环系统4连接形成循环系统;所述的离子引出系统为钼圆板制成,其上阵列式布满圆孔,所述的离子引出系统外接负偏压电源;所述的真空抽气系统5与所述的离子引出系统连接;所述的样品台13安装在真空抽气系统5内,且穿过离子引出系统的中心孔由高纯石英桶12的右侧伸入高纯石英桶12内;所述的激光加热系统6用于加热所述的样品台13上的样品,所述的测温系统用于实时监测样品台的温度;所述的气源1由所述的数字DIP控制系统3控制通过所述的栅极抑制磁铁14进入高纯石英桶12内;所述的气压监测装置2安装在栅极抑制磁铁14用于监测所述的等离子体产生系统的压力;所述的供电系统包括射频电源7和负偏压电源8。 |