发明名称 化学镀催化剂和方法
摘要 本发明提供了稳定的零价金属组合物以及制备和使用该组合物的方法。该组合物适合作为非导电基底的金属化催化剂,特别适用于电子器件的制造。
申请公布号 CN102605356B 申请公布日期 2014.11.19
申请号 CN201110462534.2 申请日期 2011.12.14
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 刘锋;M·A·热兹尼科
分类号 C23C18/30(2006.01)I 主分类号 C23C18/30(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 郭辉
主权项 一种组合物,包括0.5至100ppm的零价金属,稳定剂化合物和水;其中零价金属选自钯,银,钴,镍,铜和钌;其中的稳定剂化合物选自化学式(I)和(II)的化合物<img file="FDA0000486293750000011.GIF" wi="770" he="232" />其中R<sup>1</sup>和R<sup>5</sup>各自独立地选自H,(C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>)烷基,(CR<sup>6</sup>R<sup>6</sup>)<sub>a</sub>Z和(CH=CH)Z;R<sup>2</sup>和R<sup>4</sup>各自独立地选自H,(CR<sup>6</sup>R<sup>6</sup>)<sub>a</sub>Z,HO(C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>)烷基,R<sup>7</sup>R<sup>7</sup>N(C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>)烷基和(CH=CH)Z;R<sup>3</sup>=H,(C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>)烷基或NR<sup>7</sup>R<sup>7</sup>;R<sup>6</sup>各自独立地选自H和NR<sup>7</sup>R<sup>7</sup>;R<sup>7</sup>各自选自H和(C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>)烷基;R<sup>8</sup>各自选自H,(C<sub>1</sub>‑C<sub>6</sub>)烷基或NHR<sup>7</sup>;R<sup>9</sup>各自选自H和CO<sub>2</sub>R<sup>6</sup>;Z=CO<sub>2</sub>R<sup>7</sup>,C(O)NR<sup>7</sup>R<sup>7</sup>或NHR<sup>7</sup>;a=0‑6;其中(i)R<sup>1</sup>和R<sup>5</sup>的至少一个是(CR<sup>6</sup>R<sup>6</sup>)<sub>a</sub>Z,或(ii)R<sup>3</sup>是NR<sup>7</sup>R<sup>7</sup>;并且其中至少一个R<sup>8</sup>是NHR<sup>7</sup>;其中,组合物的pH值为大于7到14;组合物在20℃下储存3个月无沉淀析出。
地址 美国马萨诸塞州