Device with a spring holding an element, and method for manufacturing the same

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf eine MEMS-Struktur mit einem Stapel aus unterschiedlichen Schichten und einem in der Dicke variierenden Feder-Masse-System, welches aus dem Stapel gebildet wird und bei dem von einer Rückseite des Stapels und des Substrats aus an lateral unterschiedlichen Stellen das Substrat unter Verbleib der ersten Halbleiter-schicht respektive das Substrat, die erste Ätzstoppschicht und die erste Halbleiterschicht entfernt sind, sowie ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Struktur.