立式热处理装置及其冷却方法

摘要

本发明提供立式热处理装置及其冷却方法。其一边将炉主体和处理容器之间的空间内高精度地保持为微负压一边对该空间内进行强制冷却。立式热处理装置包括具有加热元件的炉主体和用于收容被处理体而对其实施热处理的、配置在炉主体内的处理容器。在炉主体上连接有空气供给管路和空气排气管路，在空气供给管路上配置有空气供给鼓风机和空气供给管路侧阀机构，在空气排气管路上配置有空气排气鼓风机和空气排气管路侧阀机构。利用压力检测系统检测空间内的压力，由控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制空气供给鼓风机、空气供给管路侧阀机构、空气排气鼓风机以及空气排气管路侧阀机构，从而将空间内保持为微负压。

主权项

一种立式热处理装置，其特征在于， 该立式热处理装置包括： 炉主体，在该炉主体的内周面上设有加热部； 处理容器，其配置在炉主体内，在该处理容器和炉主体之间形成有空间，在该处理容器内部收纳多个被处理体； 多个空气吹出孔，它们沿纵向并排设在炉主体上； 空气供给管路，其与炉主体相连接，该空气供给管路用于借助多个空气吹出孔向空间内供给冷却用空气； 空气排气管路，其与炉主体相连接，该空气排气管路用于自空间内排出冷却用空气； 鼓风机，其配置在空气供给管路和空气排气管路中的至少一方上； 空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构，该空气供给管路侧阀机构设在空气供给管路上，该空气排气管路侧阀机构设在空气排气管路上， 压力检测系统，其用于检测炉主体和处理容器之间的空间内的压力， 控制部，该控制部基于来自压力检测系统的检测信号控制鼓风机、空气供给管路侧阀机构以及空气排气管路侧阀机构中的至少一方而使空间内的压力成为微负压， 在该立式热处理装置中，利用多个空气吹出孔形成在炉主体上沿纵向延伸的空气吹出孔的设置区域，压力检测系统设置在炉主体和处理容器之间的空间中的、与形成为在炉主体上沿纵向延伸的空气吹出孔的设置区域相对应的空间区域。