发明名称 半導体装置、電子機器、および半導体装置の製造方法
摘要 A light sensing element includes a photodiode formed on a semiconductor substrate surface, and a laminated structure formed on the photodiode, wherein the laminated structure includes a first layer formed of a silicon oxide film, a second layer formed on the first layer and formed of a silicon nitride film, and a third layer formed on the second layer and formed of a polysilicon film.
申请公布号 JP5625707(B2) 申请公布日期 2014.11.19
申请号 JP20100225011 申请日期 2010.10.04
申请人 ソニー株式会社 发明人 湯元 博志;米田 修二;村川 祐亮;山縣 秀夫
分类号 H01L31/10;G01J1/42 主分类号 H01L31/10
代理机构 代理人
主权项
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