| 发明名称 | 压印模具用含TiO<sub>2</sub>石英玻璃基材及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种压印模具用含TiO<sub>2</sub>石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。 | ||
| 申请公布号 | CN103003054B | 申请公布日期 | 2014.11.19 |
| 申请号 | CN201180034592.3 | 申请日期 | 2011.07.06 |
| 申请人 | 旭硝子株式会社 | 发明人 | 小池章夫;宫坂顺子;中西博志 |
| 分类号 | B29C59/02(2006.01)I;C03C19/00(2006.01)I;B29C33/38(2006.01)I;C03B20/00(2006.01)I;C03C3/06(2006.01)I;C03C3/076(2006.01)I | 主分类号 | B29C59/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王海川;穆德骏 |
| 主权项 | 一种压印模具用含TiO<sub>2</sub>石英玻璃基材，具有主表面和侧面，其中，所述侧面的算术平均粗糙度(Ra)为1nm以下，所述侧面的10μm至1mm波长范围的凹凸的均方根(MSFR_rms)为10nm以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||