硫化镉微纳结构制备装置

摘要

本发明给出了一种硫化镉微纳结构制备装置，包括水平管式炉、两个陶瓷舟、加热机构、以及气体供应机构和气体净化机构，所述水平管式炉中设置有反应腔，所述加热机构设置在水平管式炉内，反应腔之外；所述气体供应机构的气体输出管穿过所述水平管式炉的一端，连接于所述反应腔的气体输入口；所述气体净化机构的气体收集管穿过所述水平管式炉的另一端，连接于所述反应腔的气体输出口。本发明的硫化镉微纳结构制备装置，能够将硫化镉在中心温区加热，并将蒸发起来的硫化镉吹到下气流，使得硫化镉沉积在硅片上，形成微纳结构。

主权项

一种硫化镉微纳结构制备装置，其特征在于，所述装置包括水平管式炉、两个陶瓷舟、加热机构、以及气体供应机构和气体净化机构，所述水平管式炉中设置有反应腔，所述加热机构设置在水平管式炉内，反应腔之外；所述气体供应机构的气体输出管穿过所述水平管式炉的一端，连接于所述反应腔的气体输入口；所述气体净化机构的气体收集管穿过所述水平管式炉的另一端，连接于所述反应腔的气体输出口；所述两个陶瓷舟中的一个陶瓷舟装载有硫化镉，并设置在反应腔内的对应加热机构的位置处；另一个陶瓷舟装载有镀金的硅片。