发明名称 一种锗材料表面稳定钝化的方法
摘要 本发明涉及一种锗材料表面稳定钝化的方法,其特征在于利用Ge与含长碳链硫醇,在特定条件下反应,通过调整反应体系的成份和温度,实现Ge表面氧化层的有效去除,实现Ge表面的稳定钝化保护,所述的长碳链硫醇为CH<sub>3</sub>(CH<sub>2</sub>)<sub>n</sub>SH,n≥9。具体为n=11的十二硫醇,n=15的十六硫醇或n=17的十八硫醇。本发明制备的钝化Ge在大气环境下能长时间(&gt;15天,至少15天)维持稳定,远远大于已报到的48h,其在水相(高湿度)条件下的稳定时间也超过10天,远大于已报到的数小时;本发明提供的Ge表面清洗与钝化的方法,具有操作简单、使用方便、成本低廉、钝化效果明显等优点。
申请公布号 CN104157554A 申请公布日期 2014.11.19
申请号 CN201410406487.3 申请日期 2014.08.18
申请人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发明人 许宝建;蔡奇;金庆辉;赵建龙;叶林;狄增峰
分类号 H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 潘振甦
主权项 一种锗材料表面稳定钝化的方法,其特征在于利用Ge与含长碳链硫醇,在特定条件下反应,通过调整反应体系的成份和温度,实现Ge表面氧化层与金属离子的有效去除,获得表面氯化的Ge片,然后浸泡到长碳链硫醇溶液中进行钝化处理,Ge表面自组装上长碳链硫醇分子,实现Ge表面的稳定钝化保护,所述的长碳链硫醇为CH<sub>3</sub>(CH<sub>2</sub>)<sub>n</sub>SH,n≥9。
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号