发明名称 |
石英管扩散炉 |
摘要 |
本实用新型涉及一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。该石英管扩散炉具有能够防止腐蚀,减少维护时间,提高设备利用率的优点。 |
申请公布号 |
CN203947184U |
申请公布日期 |
2014.11.19 |
申请号 |
CN201420279431.1 |
申请日期 |
2014.05.29 |
申请人 |
江阴鑫辉太阳能有限公司 |
发明人 |
严义博;张晶;张兴德;周平;曹允波 |
分类号 |
C30B31/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
C30B31/06(2006.01)I |
代理机构 |
江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 |
代理人 |
唐纫兰;曾丹 |
主权项 |
一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。 |
地址 |
214426 江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区 |