发明名称 石英管扩散炉
摘要 本实用新型涉及一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。该石英管扩散炉具有能够防止腐蚀,减少维护时间,提高设备利用率的优点。
申请公布号 CN203947184U 申请公布日期 2014.11.19
申请号 CN201420279431.1 申请日期 2014.05.29
申请人 江阴鑫辉太阳能有限公司 发明人 严义博;张晶;张兴德;周平;曹允波
分类号 C30B31/06(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C30B31/06(2006.01)I
代理机构 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 代理人 唐纫兰;曾丹
主权项 一种石英管扩散炉,它包括横置的圆柱形扩散炉炉体(1),其特征在于所述扩散炉炉体(1)的尾部中间连接有进气管(2),进气管(2)的外端设置有进气管球头(2.1),所述扩散炉炉体(1)的尾部下部设置有排废管(3)以及测温管(4),排废管(3)与测温管(4)的中心线分别偏离扩散炉炉体(1)竖向中心线22mm以及25mm,排废管(3)的外端设置有排废管球头(3.1),测温管(4)的外端设置有测温管球头(4.1)。
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