| 摘要 |
リソグラフィシステムのモジュールを垂直方向にリフトするためのアセンブリ及び方法、並びにこのようなアセンブリを有するリソグラフィシステムが提供される。アセンブリは、本体とトラックとを有する。トラックは、傾斜部を有する。本体には、２つのホイールが設けられ、第１のホイールは、第２のホイールよりも本体の水平面から垂直にさらに距離ｈ延びることができ、第１のホイールの軸は、第２のホイールの軸から距離Ｄで水平方向に配置されることができる。トラックは、第１及び第２の傾斜部を有することができ、第１の傾斜部は、第２の傾斜部からの水平方向に距離Ｄに、かつ、第２の傾斜部から垂直方向に距離ｈに配置されている。モジュールと支持体との間への本体の挿入により、モジュールが支持体からリフトされる。 |
