低減されたデブリ生成を有するレーザ生成プラズマＥＵＶ源

摘要

極紫外線（ＥＵＶ）光を生成するための方法および装置が開示される。この方法は第１レーザビームを利用してターゲット材を非熱的にアブレーションすることを含み得る。第１レーザビームは、非熱的な方法でターゲット材の一部を放出させ、それによりプルームを形成するよう構成され得る。この方法は、第２レーザビームを利用してプルームを照射し、それによりＥＵＶ放射のための高温プラズマを生成することをさらに含み得る。