| 摘要 |
対象物5からの光を検出する検出装置８と、対象物５からの光が波面修正装置9を介して検出装置8へ通過するように配置された少なくとも一つの制御可能な波面検出装置9とを備えた補償光学システム1の基準較正設定を決定する方法。この方法は、波面修正装置9の複数の直交波面モードの各々について、波面修正装置を介して検出装置へ基準光ビームを供給するために、対象物5と波面修正装置9との間に光源を配置する工程100と、所定数の強度設定にわたって直交波面モードの強度を変化させるために波面修正装置9を制御する工程101と、検出装置の一連の読取り値を取得する工程102とを含む。各読取り値は強度設定の一つに対応し、さらに、一連の品質メトリック値になる一連の読取り値の各々のために、読取の情報内容を表す品質メトリック値を決定する工程103と、一連の品質メトリック値に基づく最適な品質メトリック値に対応する波面修正装置の基準パラメータ集合を決定する工程106とを含む。 |
