接合障壁アレイのエレメントのための凹部を用いるショットキー・ダイオード

摘要

本開示は、一般に、基板と、基板の上に設けられるドリフト層と、基板のアクティブ領域の上に設けられるショットキー層とを有するショットキー・ダイオードと関連する。接合障壁アレイが、ドリフト層においてショットキー層のすぐ下に設けられる。接合障壁アレイのエレメントは、一般に、ドリフト層におけるドープされた領域である。これらのドープされた領域の深さを増加させるために、個々の凹部をドリフト層の表面に形成することができ、ドリフト層の表面には、接合障壁アレイのエレメントが形成される。ドリフト層に凹部が形成されると、凹部のあたりおよび底部における範囲はドープされて、接合障壁アレイの個々のエレメントが形成される。