探针装置的对位支援装置及对位支援方法

摘要

探针装置系具备对位公用程式功能。关于探针接触各晶片时之接触位置之误差量(误差精确度)，当使用者输入条件值(步骤S30)，对1片晶圆之全部晶片之位置进行测定取得实测资料(步骤S32)，并使用该实测资料进行模拟时，系一边变更实施对位的测定点(步骤S38、S46、S48、S50)，一边算出各晶片之误差精确度(步骤S42)，算出该误差精确度在条件值以下而且测定点之数成为最小的最适当测定点之设定(步骤S44、S52)。接着，将该资讯提供给使用者(步骤S50)。