玻璃膜的制造方法以及电子元件的制造方法;METHOD FOR MANUFACTURING GLASS FILM AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE

摘要

提供一种即便在伴随加热的制造关联处理后，亦可容易且廉价地将玻璃膜从支持玻璃剥离的玻璃膜的制造方法以及电子元件的制造方法。玻璃膜的制造方法包括：第1步骤，将制造关联处理前的玻璃膜11与支持玻璃12积层而制作玻璃膜积层体1；第2步骤，对玻璃膜积层体1的玻璃膜11进行伴随加热的制造关联处理；以及第3步骤，将所述制造关联处理后的玻璃膜积层体1分离为实施制造关联处理而所获得的玻璃膜11与支持玻璃12，在第3步骤中，一面对玻璃膜积层体1中的玻璃膜11与支持玻璃12的界面13赋予具有压力的液体4，一面从玻璃膜11及支持玻璃12中的任一者剥离另一者。