| 摘要 |
本发明提供一种透明板状体表面检查用摄像系统，该透明板状体表面检查用摄像系统系于线感测器照相机之光线路径中心所在之平面垂直于透明板状体、且使该平面与透明板状体之搬送方向既不平行亦不垂直之情形时，可一面利用正面侧之面之反射光之路径与背面侧之面之反射光之路径依存于板厚分离之现象，一面抑制用以将水层设置于透明板状体之背面侧之机构之数量增加。光源1系基于玻璃板71未产生歪曲之条件，配置于自线感测器照相机2朝向视场5之光线路径于玻璃板71经反射之延长方向上。光源1之条纹图案之照射面之朝向系以沿着玻璃板71之行进方向投射该照射面之结果成为线段之方式决定。又，该照射面上成为条纹图案之暗部之线与玻璃板71之搬送方向平行。 |
