LED晶圆检测装置及其方法;LED WAFER TESTING DEVICE AND METHOD THEREOF

摘要

本发明为一种LED晶圆检测装置及方法，包含一检测平台及一光学检测装置。检测平台适可依序承载并固定复数LED晶圆，而光学检测装置则包含一线扫描摄影机、一棱镜总成及一光源总成。其中，线扫描摄影机设置于检测平台上方，棱镜总成设置于线扫描摄影机与检测平台间，且光源总成系邻设于棱镜总成，并用以依序发射至少二线光束至棱镜总成。