溅镀靶

摘要

一种溅镀靶，其系具有金属相与氧化物相均匀分散之组织的烧结体溅镀靶，其特征在于：该金属相含有Co、Pt与Mn作为成分，该氧化物相含有至少以Mn为构成成分之氧化物。具有可降低溅镀时产生之颗粒量，并可提高成膜时之产率之优异效果。