电浆处理装置及电浆处理装置之运转方法

摘要

[课题]在从至少2个高频电源将参与电浆的高频电力分别供给到上部电极及/或下部电极之方式的电浆处理装置中,确实地检测反射波的变动而防止异常放电的发生于未然。[解决手段]临界値设定部(123),系在来自第2高频电源部(75)之高频的供给稳定后,于时刻(T3)而在第1高频电源部(65)及第2高频电源部(75)中,与遮断用临界値的准位一起切换至相对低的准位。该遮断用临界値之相对低的准位,系在第1高频电源部(65)及第2高频电源部(75)中,同时于相同的时间(从时刻T3至T4)继续进行。于时刻(T4),由第1高频电源部(65)开始增加第1次的电力供给时,临界値设定部(123)重新设定遮断用临界値,并分别拉起至相对高的准位。该相对高的准位,系在第1高频电源部(65)及第2高频电源部(75),同时于相同的时间(从时刻T4至T6)继续进行。