| 摘要 |
一种增进烤箱热对流效果之板件载具，用以承置板件，包含主框架及至少一支撑条，主框架具有四边架，围绕一中空区域，该至少一支撑条横跨该中空区域，以支撑该板件，且该至少一支撑条具有一弧度，具有弧度的支撑条以弧顶的部份支撑板件，而与位于其上方或下方主框架内的板件间隔出一安全距离，避免板件因相互碰触而有受损或污染的情形。本发明并提出使板件载具与板件之间保持破真空以及使机械手臂能搬移板件载具的设计，藉此，板件载具及板件的转移及传送能全自动化完成，能完全避免板件受到人员污染，有助于良率提升，此外，至少两相对之边架的顶面或底面为一非平面结构，可增进烤箱的热对流效果。 |
