具有使用机械转换机构之复数可动臂的基板运送装置;SUBSTRATE TRANSPORT APPARATUS WITH MULTIPLE MOVABLE ARMS UTILIZING A MECHANICAL SWITCH MECHANISM

摘要

本发明系关于一种基板运送装置,包括一机架,旋转自如地连接于机架之一个上臂部,及旋转自如地联结于上臂部之至少二个前臂,各该至少二个前臂具有附属形成之至少一个基板支承,其中上臂部系由第一电动机予以旋转自如地驱动,而至少二前臂系由第二电动机予以旋转自如地驱动,使该二电动机提供具有至少三向自由度之基板运送装置。