发明名称 |
安定之金属化合物、其组合物及方法;STABLE METAL COMPOUNDS, THEIR COMPOSITIONS AND METHODS |
摘要 |
本发明系关于具有改良安定性之多配体取代之可溶性金属化合物以及自其制得之组合物及其使用方法。 |
申请公布号 |
TW201443159 |
申请公布日期 |
2014.11.16 |
申请号 |
TW102144993 |
申请日期 |
2013.12.06 |
申请人 |
AZ电子材料(卢森堡)股份有限公司 |
发明人 |
姚晖蓉;莱罕 M 戴莉尔;穆勒 赛勒门K;赵俊衍;安亚戴巫 克里曼特;帕曼班 曼尼朗桑那 |
分类号 |
C08L85/00(2006.01);C08G79/00(2006.01);C07F7/28(2006.01);G03F7/11(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C08L85/00(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>陈长文</name> |
主权项 |
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地址 |
卢森堡 |