使用可变焦点平面以控制特征尺寸来图案化导电膜;PATTERNING CONDUCTIVE FILMS USING VARIABLE FOCAL PLANE TO CONTROL FEATURE SIZE

摘要

处理系统导引雷射射束到包括基板、导电层及导电边界的复合材料。可以控制雷射射束的聚焦位置以使雷射射束聚焦在导电材料的表面上。雷射射束可以藉由转移调焦光学系统而如此以变化雷射射束径来用于烧蚀性处理导电边界和非烧蚀性处理导电层。