遮罩盖体用接地机构、遮罩盖体、带电粒子束描绘装置以及带电粒子束描绘方法;EARTH MECHANISM FOR MASK COVER, MASK COVER, CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING METHOD

摘要

本发明的一形态的遮罩盖体用接地机构包括：导电性的接地板；接地针，设置于该接地板的端部，且电性连接于所述接地板；以及导电性的盖体部，以该接地针的前端突出，且与所述接地针之间具有间隙的方式包围所述接地针。