发明名称 测试设备;TESTING APPARATUS
摘要 本案提供一种用于测试太阳能电池或其他电子装置的测试设备,该设备包括用于所将测试之各基板(150)的一支撑套件(18),其中该支撑套件(18)包含复数个测试孔洞(23)及复数个吸引孔洞(24),各测试孔洞适合插入该设备的一对应电子测试探针(42),以允许各探针(42)与该基板(150)之一对应测试区域的连接及/或接触;该等复数个吸引孔洞(24)围绕各测试孔洞(23)。
申请公布号 TW201443459 申请公布日期 2014.11.16
申请号 TW103126444 申请日期 2010.09.02
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 法佐勒蜜雪儿
分类号 G01R31/28(2006.01);H01L31/04(2014.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 G01R31/28(2006.01)
代理机构 代理人 <name>蔡坤财</name><name>李世章</name>
主权项
地址 美国