探针装置

摘要

本发明之探针装置，系测定待检测体之晶圆之全部晶片之位置而取得实测资料。依据该实测资料，算出各晶片之实测位置之误差量或探针与晶圆之各晶片接触的接触位置之误差量，将该误差量以视觉方式显示的误差精确度表示图像100显示于监控器。于该图像100，系显示有与各晶片对应的四角区域102，于各四角区域102，在对应于误差量而由中心位置挪移的位置系显示有点104。