摘要 |
【课题】目的在于抑制接触探针与导板之干涉所造成切屑之产生。【解决手段】包括:接触部2,其具有以外侧之金属层11、13挟持中间之金属层12的积层构造,系顶接于检测对象物;弹性变形部4,系藉由长边方向之压缩力而弹性变形并朝预定的弯曲方向N弯曲;及前端部3,系形成于接触部2与弹性变形部4之间,以使接触部2可于长边方向移动的方式,藉由导板120之贯穿孔121加以支撑;形成于弹性变形部4之弯曲方向N及其相反方向N’的前端部3之侧面,系由3个金属层11~13构成,于该侧面,中间之金属层12系比外侧之金属层11、13更为突出而构成。 |