电力供给装置、电力供给方法及利用其之基板处理装置

摘要

本发明提供能够正确且迅速地将一定电力传输至多个电浆腔室之电力供给装置、电力供给方法及基板处理装置。本发明之一个实施形态之电力供给装置能够包含:RF电源部,其提供RF信号;阻抗匹配部,其使被供给了前述RF信号之复数个负载之阻抗匹配;电力调节部,其包含连接于前述复数个负载中的一部分之可变阻抗元件及连接于前述复数个负载中的剩余部分之固定阻抗元件,且调节向各个负载供给之电力量;感测器部,其感知对各个负载施加之RF信号;以及控制部,其基于前述感测器部之感知资料而控制前述可变阻抗元件之阻抗。