发明名称 |
附对准标记的板状物 |
摘要 |
[课题]使位置校准作业所需要的时间可以缩短。[解决手段]在本发明之板状物的表面,形成可藉执行定位之校准装置的摄像机构辨识之校准作业用的对准标记。使方向指示标记可从所形成之位置表示对准标记之方向。且方向指示标记相间隔地形成为在摄像机构之视野范围包含复数个。并使方向指示标记围绕对准标记形成为复数个。 |
申请公布号 |
TW201444017 |
申请公布日期 |
2014.11.16 |
申请号 |
TW103107004 |
申请日期 |
2014.03.03 |
申请人 |
迪思科股份有限公司 |
发明人 |
前田展秀 |
分类号 |
H01L21/68(2006.01);H01L23/544(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/68(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
<name>恽轶群</name><name>陈文郎</name> |
主权项 |
|
地址 |
日本 |