| 发明名称 |
经由聚合物管理增进蚀刻系统的生产力;ENHANCED PRODUCTIVITY FOR AN ETCH SYSTEM THROUGH POLYMER MANAGEMENT |
| 摘要 |
在此叙述之多数具体实施例概与降低一半导体制程腔室中聚合物沈积的装置与方法有关。提供一加热器外壳与多数热源，并可经配置以保持该处理腔室一均匀温度剖面。也提供保持该处理腔室一介电质天花板之均匀温度剖面的方法。 |
| 申请公布号 |
TW201443276 |
申请公布日期 |
2014.11.16 |
| 申请号 |
TW103103624 |
申请日期 |
2014.01.29 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
奇比罗伯特;格拉纳多斯阿尔弗雷多;迪蒙特彼得;曾照;王建奇;贝尔珊拉珍 |
| 分类号 |
C23C16/52(2006.01);C23C16/54(2006.01);B08B17/00(2006.01);H01L21/67(2006.01);H01L21/3065(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/52(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
