具有增加功率耐受力的溅渡靶材

摘要

本发明涉及一种板子定心系统，此系统包括一个带有固定件的板子，其中固定件内的板子在室温及高温下都能够定心，不会受板子及固定件的热膨胀的影响，同时在高温下板子能够在固定件内自由膨胀。特别是本发明涉及一种带有框架状外框的靶材，这种靶材特别适合作为高功率脉冲磁控管泼镀之镀膜源用。