用于制备粒状多晶矽的流化床反应器和方法;FLUIDIZED-BED REACTOR AND METHOD FOR PRODUCING GRANULAR POLYSILICON

摘要

本发明涉及一种用于在流化床反应器中制备粒状多晶矽的方法，其包括在经由加热装置加热至850至1100℃的温度的流化床中通过气流来流化矽颗粒，通过至少一个喷嘴加入含矽反应气体、以及在该矽颗粒上沉积矽，其中，在围绕该至少一个喷嘴的喷嘴开口的至少56%的轴对称区域中，-反应气体浓度大于该反应气体的最大浓度的75%(10至50莫耳%)，-流化床温度大于该轴对称区域外部的流化床温度的95%(850至1100℃)，和-固体浓度大于该流化床边缘处的固体浓度的85%(55至90体积%)。