Kompensationsbauelemente

摘要

Es werden Verfahren, Geräte und Vorrichtungen in Bezug auf die Herstellung von Kompensationsbauelementen bereitgestellt. In einigen Fällen wird eine n/p-codotierte Schicht für Kalibrierzwecke abgeschieden, um die Nettodotierungskonzentration zu minimieren. In anderen Fällen werden dann alternierend n- und p-dotierte Schichten abgeschieden. Gemäß anderen Ausführungsformen wird eine n/p-codotierte Schicht in einem Graben abgeschieden, wobei n- und p-Dotierstoffe unterschiedliche Diffusionsverhalten haben. Um unter¬schiedliche Dotierungsprofile zu erhalten, kann eine Wärmebehandlung ausgeführt werden.