lonenätzvorrichtung

摘要

Die vorliegende Erfindung umfaßt eine Ionenätzvorrichtung, die bei einem einfachen Aufbau einen Bearbeitungsbereich mit hoher Genauigkeit festlegen kann. Dazu enthält die Ionenätzvorrichtung einen Probenhalter zum Halten einer Probe und eine Maske, die die Bestrahlung der Probe mit einem Ionenstrahl zum Teil einschränkt. Der Probenhalter weist eine erste Kontaktfläche, die mit der Endfläche der Probe auf der Durchgangsseite des Ionenstrahls in Kontakt steht, und eine zweite Kontaktfläche auf, die mit einer Endfläche der Maske derart in Kontakt steht, daß sich die Maske an einer Stelle befindet, die weiter vom Ionenstrahl weg ist als die erste Kontaktfläche.