Verfahren zur Herstellung eines Wellenlängenkonversionselements, Wellenlängenkonversionselement und Bauelement aufweisend das Wellenlängenkonversionselement

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines Wellenlängenkonversionselements angegeben, bei dem eine Wellenlängenkonversionsschicht bereitgestellt, ihre Oberfläche mit einem Plasma behandelt und die Wellenlängenkonversionsschicht gestanzt wird. Weiterhin werden eine Wellenlängenkonversionsschicht und ein optoelektronische Bauelement mit einer Wellenlängenkonversionsschicht angegeben.