Sensiereinrichtung für eine mikromechanische Sensorvorrichtung

摘要

Sensiereinrichtung (100) für eine mikromechanische Sensorvorrichtung (200), aufweisend:–eine entlang einer Sensierrichtung (R) bewegliche seismische Masse (10); und–wenigstens ein orthogonal zur Sensierrichtung (R) an einer Seite der seismischen Masse (10) angeordnetes Sensierelement (20); gekennzeichnet durch–wenigstens jeweils eine orthogonal zum Sensierelement (20) an gegenberliegenden Seitenflächen der seismischen Masse (10) angeordnete Kammelektrode (30);–wobei an die wenigstens zwei Kammelektroden (30) jeweils eine konstante elektrische Kompensationspannung (V1, V2) zum Kompensieren eines mechanischen Offsets des Sensierelements (20) anlegbar ist.