ＭＥＭＳデバイス用の結合脚及びセミフレキシブルなアンカリング

摘要

本発明は、一般的に、アンカー領域において、及び／又は片持ばりの部で連結される脚によって共に連結される複数の片持ばりを有するＭＥＭＳデバイスに関する。その脚は、各片持ばりが同じ電圧で高周波電極の上方で高周波電極から移動／解放可能なことを確実にする。全ての片持ばりが共に移動するように、アンカー領域の連結は、片持ばりのすべてのセクションにおける機械的剛性を調和させる。