消耗電極真空アーク再溶解法によるメタロイドの精製

摘要

予熱された電極が短ＣＥＶＡＲ底部開放型るつぼを使用するＣＥＶＡＲ炉システムで溶解された後、制御された加熱及び冷却によりインゴットを作り出すことにより、予熱された固体電極の形態のシリコン等のメタロイドがＣＥＶＡＲ精製法によって精製される。