一体化された真空計および調整装置

摘要

真空装置用の一体的な調整装置および計器は、真空計をその内部に有する円形の調整装置から構成され、これにより、調整装置および計器は、共通の径方向軸線を中心として回動する。調整装置の底から延びるボスに形成された開口部は、調整装置が配置される円形のポートの内側表面に形成される傾斜した肩部と係合し、開口部の寸法を変化させることにより、真空チャンバに空気を流し込み、真空の強度を調整する。