| 发明名称 |
Aufbringung von Fluiden auf Substrate |
| 摘要 |
Verschiedene Ausführungsformen betreffen die Aufbringung eines Fluids auf ein Substrat. Das Fluid wird lokal erwärmt, um zum Beispiel ein gewünschtes Dickenprofil zu erhalten. |
| 申请公布号 |
DE102014106337(A1) |
申请公布日期 |
2014.11.13 |
| 申请号 |
DE201410106337 |
申请日期 |
2014.05.07 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
KALIN, MICHAEL;LEITNER, HANS;PILCH, KARL |
| 分类号 |
H01L21/30;B05D3/00;B05D5/10;H01L21/312 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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