機械的に柔軟なシリコン基板の製造方法

摘要

機械的に柔軟なシリコン基板の作製方法を開示する。一態様において、本方法は、シリコン基板を提供する工程を含む。本方法は、シリコン基板内に第一エッチング停止層を形成する工程、およびシリコン基板内に第二エッチング停止層を形成する工程をさらに含む。本方法は、第一エッチング停止層および第二エッチング停止層の上に1つまたは複数のトレンチを形成する工程も含む。本方法は、第一エッチング停止層と第二エッチング停止層の間のシリコン基板を除去する工程をさらに含む。