分光特性测量装置以及分光特性测量方法

摘要

本发明使从测量对象发出的测量光入射到固定反射镜部和可动反射镜部，形成被上述固定反射镜部反射的测量光与被上述可动反射镜部反射的测量光的干渉光。此时，通过使上述可动反射镜部进行移动来获得测量光的干渉光强度变化，基于该变化求出测量光的干涉图。另外，同时使作为测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光入射到上述固定反射镜部和上述可动反射镜部，形成被该固定反射镜部反射的参考光与被该可动反射镜部反射的参考光的干涉光。此时，使上述可动反射镜部进行移动，由此基于参考光的干渉光强度变化的振幅以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。

主权项

一种分光特性测量装置，其特征在于，具备：a)固定反射部和可动反射部；b)入射光学系统，其使从测量对象发出的测量光入射到上述固定反射部和上述可动反射部；c)成像光学系统，其形成被上述固定反射部反射的测量光与被上述可动反射部反射的测量光的干渉光；d)测量光检测部，其检测上述测量光的干渉光强度；e)处理部，其基于通过使上述可动反射部进行移动而获得的上述测量光的干渉光强度变化来求出上述测量光的干涉图；f)参考光入射单元，其使作为上述测量光的波长频带的一部分的窄频带的波长的参考光通过上述入射光学系统入射到上述固定反射部和上述可动反射部；g)参考光检测部，其检测被上述固定反射部反射的参考光与被上述可动反射部反射的参考光的由上述成像光学系统形成的干渉光强度；以及h)运算处理部，其基于通过使上述可动反射部进行移动而由上述参考光检测部检测出的上述参考光的干渉光强度变化的振幅、以及上述测量光中的同上述参考光相同波长的测量光与上述参考光的相位差，来校正上述测量光的干涉图，基于校正后的干涉图来求出上述测量光的光谱。