| 发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zum elektrolytischen AEtzen von Halbleiterbauelementen |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE1221074(B) |
申请公布日期 |
1966.07.14 |
| 申请号 |
DE1962ST19413 |
申请日期 |
1962.06.29 |
| 申请人 |
STANDARD ELEKTRIK LORENZ AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHLUND KURT KONRAD CHRISTIAN |
| 分类号 |
C25F3/12;H01L21/3063;H01L29/00 |
主分类号 |
C25F3/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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