多步骤离子注入

摘要

本文描述了用于强化蓝宝石部件的系统和方法。一个实施方式可采用方法的形式，其包括确定蓝宝石组件的第一表面相对于离子注入设备的方向，并且执行第一注入步骤。该注入步骤可包括在该蓝宝石组件的第一表面引导离子以将它们嵌入第一表面下。该系统和方法也可包括如下步骤中的一个或多个：加热蓝宝石组件以将注入的离子扩散进入蓝宝石组件的更深层；冷却蓝宝石组件；和执行至少第二注入步骤，在蓝宝石组件的第一表面引导离子以将离子嵌入第一表面下。

主权项

一种方法，包括：确定蓝宝石组件的第一表面相对于离子注入设备的方向；执行第一注入步骤，该第一注入步骤包括在蓝宝石组件的第一表面引导离子，该离子嵌入到第一表面下；加热蓝宝石组件，以使注入的离子扩散进入蓝宝石组件的更深层；冷却蓝宝石组件；以及执行至少第二注入步骤，该第二注入步骤包括在蓝宝石组件的第一表面引导离子，将该离子嵌入到第一表面下。