使用超声的气体感测

摘要

一种用于气体的传感器芯片(1030)，其具有用于发射和接收超声的单元(200)，并且被配置成用于足够大的频率范围以及用于基于所述范围内的至少两个响应测量所述气体成分中的至少一种的浓度。所述频率范围能够通过改变单元膜片(230)的大小、改变偏置电压和/或改变cMUT或MEMS微音器阵列(205)的空气压力来实现。所述传感器芯片能够应用于例如二氧化碳分析中。一种测量空气室(515)，其在呼吸路径(400)中实施，并且其和/或所述路径可以被设计成降低呼出气息(120)中易影响超声拾取的湍流。所述芯片(1030)能够以监测参数自足的方式实施，避免对片外传感器的需要。

主权项

一种被设置在测量空气室内、用于分析包括多种成分的气体的传感器芯片，所述传感器芯片包括用于发射和接收超声的多个单元，其中，所述多个单元能够在足够大的频率范围上工作，以基于所述频率范围内的至少两个超声响应测量多种气体成分中的至少一种的浓度，所述频率范围包括在50kHz和10MHz之间的频率；并且所述测量空气室包括对空气室截面的尺寸限定，以改变所述测量空气室内的气体压力，其中，所述尺寸限定有选择地逐单元改变相对于单元的所述气体压力，以改变所述多个单元的各自的频率，从而实现对所述浓度的所述测量。