发明名称 砥粒の製造方法、スラリーの製造方法及び研磨液の製造方法
摘要 <p>In the production method for abrasive grains according to the invention, an aqueous solution of a salt of a tetravalent metal element is mixed with an alkali solution, under conditions such that a prescribed parameter is 5.00 or greater, to obtain abrasive grains including a hydroxide of the tetravalent metal element.</p>
申请公布号 JP5621854(B2) 申请公布日期 2014.11.12
申请号 JP20120545750 申请日期 2011.11.21
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;B24B37/00;C09K3/14 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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