一种质谱仪核心部件的自动控制系统

摘要

本发明公开了一种用于质谱仪激光解析模斑大小自动控制的光学系统，它由入射透镜、带中心透射孔的反射镜、中继透镜、校正反射镜和光电探测器组成。入射透镜、带中心透射孔的反射镜、中继透镜和校正反射镜在空间上顺次排列，带中心透射孔的反射镜与入射激光光轴成45度放置，光电探测器放置在入射激光光轴的垂直方向。根据光电探测器所接收的激光功率判定入射激光入射到校正反射镜上的激光光斑大小。通过移动中继透镜，改变中继透镜和校正反射镜之间的距离，动态地调整入射到校正反射镜上的激光光斑大小。本发明提供一种能够动态控制解析激光光斑大小的自动控制光学系统，通过控制激光解析光斑大小，满足质谱仪在不同测试条件下的使用要求，增强质谱仪的工作性能。

主权项

一种用于质谱仪激光解析模斑大小自动控制的光学系统由入射透镜1、带中心透射孔的反射镜2、中继透镜3、校正反射镜4和光电探测器5组成；入射透镜1、带中心透射孔的反射镜2、中继透镜3和校正反射镜4在空间上顺次排列，带中心透射孔的反射镜2与入射激光光轴成45度放置，光电探测器5放置在入射激光光轴的垂直方向；入射透镜1将入射激光聚焦到带中心反射孔的反射镜2的中心孔位置并使之通过带中心孔的反射镜2，中继透镜3将聚焦后并从带中心反射孔的反射镜2出射的激光耦合到校正反射镜4；校正反射镜4反射所入射的发散或汇聚激光，并部分由带中心反射孔的反射镜2反射到光电探测器5；根据光电探测器5所接收的激光功率，可以判定入射激光经过入射透镜1、带中心透射孔的反射镜2和中继透镜3后入射到校正反射镜4上的激光光斑大小；通过移动中继透镜3改变中继透镜3和校正反射镜4之间的距离，可以动态地调整入射到校正反射镜上的激光光斑大小。